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規(guī)格
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測量面對基面垂直度
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測量面平面度或直線度
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基面平面度或直線度
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精度等級(um)
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|||||||||
0級
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1級
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2級
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0級
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1級
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2級
|
0級
|
1級
|
2級
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150*100
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4
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8
|
16
|
1.5
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2.5
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5
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2
|
4
|
8
|
300*200
|
6
|
11
|
22
|
2
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4
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7
|
3
|
6
|
11
|
400*300
|
7
|
12
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25
|
2
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4
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8
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305
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7
|
12
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500*350
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15
|
30
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5
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10
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8
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15
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600*400
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18
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35
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6
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12
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9
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18
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800*500
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40
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14
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20
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1000*750
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50
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16
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25
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1250*800
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60
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